第155章 华科的第一炉（1 / 3）

第155章华科的第一炉（第12页）

北方。

华科精密设备有限公司。

一号装配车间。

巨大的穹顶下，那台被拆解又重新组装的碳化硅外延炉，像一头沉睡的钢铁巨兽，静静地趴在车间中央。

这是改造后的第一次热场空载测试。

没有放入碳化硅粉料，也没有放入籽晶。

只是单纯地测试设备在两千度高温下的温度场分布是否均匀。

这是碳化硅长晶最核心、也是最难的一关。

陶安然穿着灰色的工装，头随意地扎在脑后。

这半个多月来，她和华科的技术团队吃住在车间里。

从石墨毡的切割、保温层的阶梯化铺设，到感应线圈的重新绕制，每一个细节她都亲自盯着。

华科的老厂长赵建兴，背着手站在陶安然旁边。

他今天没穿那身洗得白的蓝色工装，而是换了一件干净的灰色夹克。

“陶工。”

赵建兴看着那台外延炉，声音有些紧，“这炉子，能行吗？”

陶安然没有看他。

她的目光死死盯着控制台上的温度显示屏。

“赵厂长。

参数是死的，设备是活的。”

陶安然的声音沙哑，“行不行，烧了才知道。”

“抽真空。

通氩气。

准备升温。”

真空泵出低沉的轰鸣声。

炉腔内的空气被迅抽干。

“真空度达标。

氩气流量稳定。”

陈宇汇报道。

“开始升温。

第一阶段，目标温度1000度，升温率每分钟10度。”

陶安然下达指令。

感应加热线圈开始工作。

外延炉的表面温度逐渐升高。

车间里的空气变得有些灼热。

赵建兴紧紧盯着屏幕上的温度曲线。

1000度。

很顺利地达到了。

“第二阶段。

目标温度2000度。

升温率每分钟5度。”

陶安然的声音没有一丝波动。

这是最关键的阶段。

在两千度的高温下，热辐射会变得极其复杂。

任何一点保温层的微小缺陷，都会导致炉腔内出现巨大的温度梯度。

温度一点点攀升。

1500度。

1800度。

1950度。

赵建兴屏住了呼吸。

他的手心里全是汗。

“2000度！

到达目标温度！”

三个多小时后，助手喊道。

“保温两小时。

启动多点温度传感器，监测径向和轴向温度梯度。”

陶安然命令道。

屏幕上，十几条代表不同位置温度的彩色曲线，开始在坐标轴上延伸。

时间一分一秒地过去。

车间里安静得可怕。

只有外延炉冷却水循环的哗哗声。

“保温结束。

开始降温。”

陶安然说。

又过了几个小时，炉体温度终于降到了安全范围。

“导出测试数据。

生成温度场分布云图。”

陶安然走到控制台前。

一张彩色的温度场分布云图，出现在屏幕上。

赵建兴凑了过去。

他死死盯着那张云图。

在碳化硅晶体生长的核心区域，颜色呈现出极其均匀的暖红色。

没有刺眼的亮斑（局部过热），也没有暗淡的冷区（局部过冷）。

赵建兴颤抖着手，指着屏幕右下角的数据统计栏。

“径向温度梯度……正负03度？”

赵建兴的声音劈了。

他猛地转过头，看着陶安然，满脸的不可置信。

“正负03度？！

这……这怎么可能？！”

华科搞了十年的设备，最好的成绩也就是正负1度。

而国际上最顶尖的莱茵科技，他们对外宣称的标称值，也就是正负05度。

现在，这台由国产老旧设备改造而成的外延炉，竟然跑出了正负03度的恐怖精度！

这意味着什么？

在这台设备里生长出来的碳化硅晶体，其内部的热应力将被降到最低。

微管缺陷率将呈指数级下降。

这台设备，不仅达到了商用标准，更是直接越了国际顶尖水平！

陶安然站在控制台前。

她看着屏幕上的那个“±03bsp;两年前。

在南方那个简